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柔性線路板膜厚儀 XTU系列測(cè)厚儀雖然結(jié)構(gòu)緊湊，但是都有大容量的開槽設(shè)計(jì)樣品腔，即使超過(guò)樣品腔尺寸的工件也可以測(cè)試。 搭配微聚焦射線管和*的光路設(shè)計(jì)，以及變焦算法裝置，可測(cè)試極微小和異形樣品。 檢測(cè)78種元素鍍層·0.005um檢出限·小測(cè)量面積0.002mm2·深凹槽可達(dá)90mm。 外置的高精密微型滑軌，可以快速控制樣品移動(dòng)，移動(dòng)精度0.005mm，速度10-30mm（X-Y）/圈，